工業測溫，濕敏電阻的特點是，基板上覆蓋有一層由濕敏材料制成的薄膜。當空氣中的水蒸氣吸附在濕敏膜上時，元件的電阻率和電阻發生變化。利用這個特性，可以測量濕度。濕敏電容器通常由聚合物薄膜電容器制成。常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、丁酸、醋酸纖維等。當環境濕度變化時，濕敏電容的介電常數發生變化，因此其電容也發生變化，其電容變化與相對濕度成正比。
電子式濕度傳感器的相對濕度可達2-3%，高于干濕球式濕度傳感器。濕度傳感器的線性度和抗污染性較差。在檢測環境濕度時，濕度傳感器應長期暴露在被測環境中，容易受到污染，影響其測量和長期穩定性。這方面不如干濕球法。以下是各種濕度傳感器的簡要介紹。